直拉法
中文名称:直拉法
英文名称:vertical pulling method
直拉法是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。该方法为波兰学者Czochralski所发明。半导体圆片是从大块晶体上切割下来的,绝大多数晶体的主流生产技术是直拉生长法。这项工艺最早是由Teal在20世纪50年代初开发使用的,而在此之前,早在1918年,Czochralski采用过类似的方法,用它从熔融金属中拉制细灯丝。
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